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镜面加工

立匠精密是国内领先的镜面加工源头供应商和代加工厂家,专注于亚微米级超精密制造,为客户提供顶级的服务。为航空航天、精密光学、半导体设备、科研仪器等行业提供专业定制镜面加工服务,支持复杂、疑难零件定制,1件起做。最高加工精度公差可达到±0.001mm,最优粗糙度Ra0.05um,平面度0.001mm,平行度0.002mm,垂直度0.002mm,圆度0.001mm,同轴度0.003mm。达到IT4/IT5级超高精度零件制造,完全满足高科技领域对镜面加工的严格要求。


产品详情

立匠精密是国内领先的镜面加工源头供应商和代加工厂家,专注于亚微米级超精密制造,为客户提供顶级的服务。为航空航天、精密光学、半导体设备、科研仪器等行业提供专业定制镜面加工服务,支持复杂、疑难零件定制,1件起做。最高加工精度公差可达到±0.001mm,最优粗糙度Ra0.05um,平面度0.001mm,平行度0.002mm,垂直度0.002mm,圆度0.001mm,同轴度0.003mm。达到IT4/IT5级超高精度零件制造,完全满足高科技领域对镜面加工的严格要求。

镜面加工可控精度如下:

尺寸精度

(X)

(Y)

(Z)

SH

SW

单位:±/mm

0.001

0.0005

0.0001

0.001

0.001

形位精度

平面度

平行度

垂直度

粗糙度

对称度

单位:±/mm

0.0003

0.001

0.001

Ra0.05

0.001

起订量

1~999999 pcs

1~999999 pcs

1~999999 pcs

1~999999 pcs

1~999999 pcs

交货期

3-20 天

3-20 天

3-20 天

3-20 天

3-20 天

超高精度能力:

立匠精密公司镜面加工精度极高:尺寸精度(直径公差±0.001-0.003mm、长度公差±0.002-0.005mm、位置公差±0.002mm、配合精度H4-H5级、达到IT4-IT5级);形位精度(圆度0.0005-0.002mm、同心度0.001-0.003mm、平面度0.001-0.005mm);表面质量(表面粗糙度Ra0.025-0.2μm、抛光Ra0.01-0.025μm接近原子级光滑);重复精度(批量生产尺寸一致性±0.001mm、CPK≥2.33、西格玛能力≥7σ)。

超精密工艺:

立匠精密加工厂镜面加工艺极致:超精密车削(单晶金刚石刀具、切削深度0.001-0.01mm、进给0.001-0.01mm/r、表面粗糙度Ra0.01-0.1μm);超精密磨削(超细粒度砂轮W1.5-W5、磨削深度0.001-0.005mm、高压冷却液压力0.5-2MPa、表面Ra0.025-0.1μm);化学机械抛光(CMP去除原子层、表面Ra<0.01μm);工艺措施(零件去应力退火、多次时效处理、温度补偿监控、热膨胀补偿)。

顶级应用领域:

作为专业的镜面加工制造商,立匠精密服务尖端科技:航空航天(惯性导航陀螺仪转子球面度0.0005mm表面Ra0.01μm动平衡G0.16级;卫星精密反射镜平面度0.0005mm表面Ra0.005μm面型精度λ/50)、精密光学(激光聚焦镜球面半径R10-100mm球面度0.001mm表面Ra0.01μm透过率>99.9%;非球面透镜轮廓度0.0005mm表面Ra0.005μm成像质量优异)、半导体设备(光刻机精密导轨直线度0.0005mm/300mm表面Ra0.01μm定位精度±0.0001mm;晶圆台平面度0.001mm温度稳定性±0.01℃真空吸附)、科研仪器(原子力显微镜探针曲率半径<10nm锥角15°-25°纳米级精度;超精密主轴径向跳动0.0005mm轴向跳动0.0003mm旋转精度NRRO<0.05μm)。已为ESA、蔡司、尼康、华为、KLA等企业提供定制镜面加工服务,年产超精密零件5万件,合格率99%以上。

镜面加工设备技术参数:

参数类别

参数详情

设备型号

Kasite-SKD 系列

核心技术

高精度高响应直线电机,配合光栅反馈,精度可达 10nm, 20nm, 50nm, 100nm

主轴系统

高转速高精度(≤1μm)高速电主轴

视觉定位

先进的上下相机视觉定位系统,上相机标定刀具中心和相机中心误差,下相机具有对刀功能和刀摆补偿

数控系统

自带 CNC 功能的运动控制卡,可自定义运动轨迹控制,编辑不同形状

典型应用

精密零部件镜面加工

 

参数类别

参数详情

设备型号

250UPL

核心定位

超精密纳米级加工系统(单点金刚石车削、磨削等)

轴数配置

可配置为二、三或四轴机床

床身与导轨

整体复合大理石床身,全约束式油静压导轨

关键精度

激光全息线性光栅尺反馈分辨率 8.4皮米;主轴轴向跳动 ≤4nm

控制系统

基于Delta Tau PowerPMAC的嵌入式实时Linux运动控制器

性能表现

可实现表面粗糙度 Sa ≤ 2.0 nm 的面型加工

选配功能

可增加B轴、C轴、快刀伺服等,实现自由曲面加工

典型应用

精密零部件镜面加工

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